Suk-yoon OH
Semiconductor and Displays
PhD Candidate at GSI Helmholtz Centre for Heavy Ion Research
안녕하세요, K-ERC 서포터즈로 활동하게 된 반도체/디스플레이 분야의 오석윤입니다.
현재 독일 Jena 대학의 GSI 헬름홀츠 중이온 연구소에서 물리학 박사 과정을 밟고 있으며, DAAD 장학생으로도 활동 중입니다. 학부부터 박사까지 Jena에서 광학 및 양자광학 분야를 꾸준히 연구해왔습니다.
인공지능, 전기차, 양자, 생명공학 분야의 성장과 함께 차세대 반도체 그리고 Nanoscale 영역에 대한 고해상도 이미징에 대한 요구가 날로 높아지고 있습니다. 특히 차세대 반도체 개발의 핵심은 물성 재료 연구와 회로의 정확도를 향상시키기 위한 EUV 공정의 중요성이 강조되고 있습니다. EUV 리소그래피 장비를 독점하고 있는 ASML과 더불어, EUV 공정으로 생산된 칩의 검사 및 메트롤로지 요구 또한 증가하고 있습니다. 그러나 이러한 칩을 검사하기 위해 필요한 EUV 레이저의 경우 기존의 국가 단위 연구소(예: 싱크로트론, 자유전자 레이저)와 같은 초대형 시설에서만 발생 가능하며, 물리적 특성도 Visible 영역의 빛과 매우 달라 이용에 많은 제약이 따릅니다.
이러한 제약을 극복하기 위해, 지난해 노벨 물리학상을 수상한 Attosecond Laser 분야의 High Harmonic Generation 방식을 사용하여, 우리는 소규모 실험실에서도 EUV 레이저를 발생시킬 수 있게 되었습니다. 이를 통해 Ernst Abbe가 제시한 분해능 한계를 극복하고자 EUV 영역에서의 Quantum Ghost Imaging 기술을 연구하고 있습니다. 양자기술을 이용해 EUV 영역에서의 렌즈 없는 이미징 및 살아있는 바이러스나 나노스케일 생물 샘플의 비침습적 생물학적 이미징 기술을 실현하고자 합니다.
KERC 서포터즈로서, 과학의 빛을 밝혀 한국과 유럽의 협력을 더욱 빛나게 하겠습니다. 빛나는 미래의 연구자들과 함께 과학 탐구 여행을 기대하며, 웃음과 열정, 그리고 경험을 함께 나누겠습니다!
