KERC 는 유럽 각지에서 활동중인 KERC 서포터즈를 통해 과기부가 선정한 12대 국가전략분야를 중심으로 유럽 연구 및 정책 동향을 수집, 분석 및 제공합니다.
요약
유럽은 기존 반도체 검사 장비가 가진 한계를 극복하기 위해 극자외선(XUV) 광원을 활용한 새로운 검사 기술 개발에 집중하고 있다. 기존 장비는 해상도, 속도, 3D 구조 검사, 민감도 및 비용 면에서 한계가 있으며, 특히 7nm 이하의 공정에서 미세한 결함을 검출하는 데 어려움이 있다. 이러한 문제를 해결하기 위해 유럽연합(EU)은 XUV 기술에 기반한 혁신적인 검사 장비를 연구하고 있으며, 독일 Jena 지역을 중심으로 다양한 프로젝트와 연구가 진행 중이다. 고조파 생성(HHG) 및 테이블탑 XUV 소스 개발을 통해 고해상도 검사와 효율성을 높이는 기술이 적극적으로 연구되고 있으며, 이는 반도체 제조의 정밀도와 생산성을 크게 향상시킬 것으로 기대된다.
키워드
#극자외선(XUV/EUV) 광원 #EUV 검사 장비 #고조파 생성 (High Harmonic Generation, HHG) #Quantum Ghost 이미징 #XUV Microscopy
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Suk-yoon OH
Semiconductor and Displays
PhD Candidate at GSI Helmholtz Centre for Heavy Ion Research
